Intrinsisch verspannte Aluminiumschichten zur Herstellung von tageslichtlenkenden Mikrospiegel-Arrays von Jäkel, Andreas

Intrinsisch verspannte Aluminiumschichten zur Herstellung von tageslichtlenkenden Mikrospiegel-Arrays

Im Rahmen dieser Dissertation wurden mechanisch verspannte Aluminiumschichten untersucht, um sie in einen bestehenden Herstellungsprozess für Mikrospiegel-Arrays einzubetten. Diese verspannten Schichten werden benötigt, um das Aufstellen der gefertigten Mikrospiegel zu gewährleisten. Auf diese Weise konnte der gesamte Herstellungsprozess für diese Mikrospiegel stark vereinfacht werden. Diverse Anpassungen der vorher genutzten Herstellungsschritte werden in dieser Arbeit dokumentiert. Durch die beschriebenen Veränderungen konnten eine stark verbesserte Prozessausbeute und die Herstellung von Mikrospiegel-Arrays auf größeren Flächen erzielt werden. Zukünftig könnte der beschriebene Herstellungsprozess durch ein 3D-Nanoimprint Verfahren weiter vereinfacht werden.

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Die Publikation Intrinsisch verspannte Aluminiumschichten zur Herstellung von tageslichtlenkenden Mikrospiegel-Arrays von ist bei Kassel University Press erschienen. Die Publikation ist mit folgenden Schlagwörtern verschlagwortet: aktive Fenster, elektrostatische Aktuation, Herstellungsverfahren, intrinsisch verspannte Aluminiumschichten, MEMS (mikro-elektromechanische Systeme), Mikrospiegel-Arrays, Tageslichtlenkung. Weitere Bücher, Themenseiten, Autoren und Verlage finden Sie hier: https://buchfindr.de/sitemap_index.xml . Auf Buch FindR finden Sie eine umfassendsten Bücher und Publikationlisten im Internet. Sie können die Bücher und Publikationen direkt bestellen. Ferner bieten wir ein umfassendes Verzeichnis aller Verlagsanschriften inkl. Email und Telefonnummer und Adressen. Die Publikation kostet in Deutschland 39 EUR und in Österreich 40.1 EUR Für Informationen zum Angebot von Buch FindR nehmen Sie gerne mit uns Kontakt auf!