Die Beschichtung von Materialien wird heute in vielen Gebieten angewendet. Mit fortschreitender technischer Entwicklung und aus Kostengründen werden immer dünnere Schichtdicken bei vergleichbarer Funktionalität gefordert, deren Einhaltung im Produktionsprozess permanent überwacht werden muss. Zerstörungsfreie Prüfverfahren, die im laufenden Produktionsprozess verwendet werden können, werden bevorzugt, um das beschichtete Produkt sowie dessen Produktionsprozess möglichst wenig zu beeinflussen. Laser–Speckle–Verfahren eignen sich besonders für die Messung von µm dünnen, transparenten Schichten auf reflektierenden, optisch rauen Trägermaterialien.
In dieser Arbeit werden Speckle in verschiedenen Anwendungsgebieten diskutiert, um einen Gesamtüberblick zu erhalten. Für das bessere Verständnis werden die Grundlagen der Speckle–Messtechnik und die Grundlagen zur Flüssigkeitsverteilung auf rauen Oberflächen sowie Fehlerquellen in optischen Messaufbauten untersucht. In der vorliegenden Arbeit werden verschiedene berührungslose Laser–Speckle–Verfahren zur Schichtdickenbestimmung im µm-Bereich von transparenten Schichten auf Metall erarbeitet.
Aktualisiert: 2019-03-18
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