Die Gasphasenabscheidung (engl. chemical vapour deposition, CVD) erlaubt es, Diamantschichten kostengünstig direkt auf Werkzeugsubstraten abzuscheiden und öffnet somit zahlreiche Anwendungsgebiete für Diamantschneidstoffe. Eine oftmals unzureichende Schichthaftung sowie fehlende Kenntnisse in Bezug auf den Einsatz dieser Werkzeuge führen jedoch dazu, dass das hohe Potenzial CVD-diamantbeschichteter Werkzeuge derzeit noch nicht ausgenutzt wird. Im Rahmen dieser Arbeit werden neue Kenntnisse erarbeitet, die zu einer Steigerung der Nutzung dieser aussichtsreichen Werkzeuggruppe führen sollen. So werden am Beispiel von Aluminium-Legierungen die Einflüsse der System- und Stellgrößen erarbeitet und industrielle Hinweis für den Einsatz gegeben. Der Einfluss der Substrat- und Schichteigenspannungen auf die Schichthaftung und das Einsatzverhalten wird umfangreich charakterisiert und die Ergebnisse in einem Eigenspannungsmodell zusammengefasst. Letztlich kommt das Strömungsschleifen als Vor- und Nachbearbeitungsmethode zum Einsatz, um eine Werkzeugoptimierung zu ermöglichen. Die Nachbehandlung der CVD-diamantbeschichteten Werkzeuge führt zu einer Erhöhung der Schichthaftung und zeigt damit aussichtsreiche Ergebnisse. Im Rahmen der Arbeit wird ein Beitrag zur Erweiterung der Einsatzmöglichkeiten von CVD-diamantbeschichteten Werkzeugen geleistet.
Aktualisiert: 2023-02-09
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