Der Antastprozess von Mikrotastern bei dimensionellen Messungen
S Cao
Mikrosysteme sind funktionelle und intelligente Geräte oder Maschinen, die Informationen aus der Umgebung erfassen und auf sie zugreifen. Sie können sich aus mechanischen, fluidischen, optischen sowie pneumatischen Komponenten und elektronischen Systemen zusammensetzen. Viele der Produkte oder Geräte, die wir jeden Tag benutzen, sind groß genug, um sie sehen und berühren zu können. Es können jedoch winzige Teile in sie eingebettet sein. Diese winzigen Teile können Mikrosysteme und Mikroprodukte sein.
