Enabling the Digital Age
A History of ZEISS Lithography Optics
Stephan Paetrow
Mitte der 1960er Jahre entwickelte ein kleines Team bei ZEISS Oberkochen die ersten Objektive für die Belichtung integrierter Schaltkreise, die sogenannte Lithographieoptik.Schon damals gelang es, die Grenzen des Machbaren auszuloten und neu zu definieren. Seitdem trägt die ZEISS Lithographieoptik entscheidend dazu bei, immer höhere Rechenleistungen in immer kleineren Geräten zu ermöglichen. Diese Entwicklung wird auch als Moore’s Law bezeichnet. Heute ist ZEISS das weltweit einzige Unternehmen, das Optiken für die neueste Generation, der sogenannten EUV-Lithographie, liefern kann. Denn nur mit dieser Technologie lassen sich die mobilen digitalen Geräte herstellen, die unseren Alltag im kommenden Jahrzehnt bestimmen werden.
Das Buch verfolgt die Stationen der Carl Zeiss SMT: Eine Reise im Grenzbereich zwischen Wissenschaft, Ingenieurskunst und Unternehmertum und steht exemplarisch für den Aufbruch ins digitale Zeitalter.
