Silizium-Halbleitertechnologie von Hilleringmann,  Ulrich

Silizium-Halbleitertechnologie

Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik

Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen Nanometern gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden – ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung – aus Sicht der Prozessführung erläutert. Moderne 3D-Bauformen für Feldeffekttransistoren runden den Inhalt ab. 

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Produktinformationen

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Die Publikation Silizium-Halbleitertechnologie - Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik von ist bei Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH erschienen. Die Publikation ist mit folgenden Schlagwörtern verschlagwortet: Ätztechnik, Bipolar-Technologie, Bipolarschaltung, Bipolartechnik, Chip, CMOS, Depositionsverfahren, Dotierung, Elektronik, Halbleitertechnik, Höchstintegration, Integrierter Schaltung, LGAA, Lithografie, Metallisierung, Oxidation, Schaltungsintegration, Silizium, VGAA, XeF2. Weitere Bücher, Themenseiten, Autoren und Verlage finden Sie hier: https://buch-findr.de/sitemap_index.xml . Auf Buch FindR finden Sie eine umfassendsten Bücher und Publikationlisten im Internet. Sie können die Bücher und Publikationen direkt bestellen. Ferner bieten wir ein umfassendes Verzeichnis aller Verlagsanschriften inkl. Email und Telefonnummer und Adressen. Die Publikation kostet in Deutschland EUR und in Österreich EUR Für Informationen zum Angebot von Buch FindR nehmen Sie gerne mit uns Kontakt auf!