Silizium-Planartechnologie
Grundprozesse, Physik und Bauelemente
Tim Schönauer, Hans-Günther Wagemann
Die Grundlagen der Mikroelektronik werden kompakt und in leicht verständlicher Form vorgestellt. Der Leser erfährt, wie integrierte Schaltkreise hergestellt werden, wie sie funktionieren und welche Bauelemente sich realisieren lassen.