Chemisch-Mechanisches Polieren (CMP) kommt bei Mikrosystemen zum Einsatz, um Wafer zu planarisieren, deren Oberfläche aus zwei Werkstoffen besteht. Dabei weist die Oberfläche meist kleine Strukturen aus einem Werkstoff auf, die in einem Grundwerkstoff eingebettet sind. Bei rein spaneneder Bearbeitung treten auf Grund von Unterschieden in Härte und E-Modul Stufen an den Grenzen beider Werkstoffe auf. Das CMP von Mikrosystemen ermöglicht eine koplanare Bearbeitung durch Kombination von spanenden, stoffändernden und abtragenden Verfahren. CMP kommt schon seit längerem in der Halbleitertechnik zum Einsatz. An diese Prozesse lehnt sich auch das CMP für Mikrosysteme an. Um das Prozessverständnis zu erweitern und beim CMP von Wekstoffverbunden optimale Ergebnisse zu erzielen, sind grundlegende Untersuchungen und Modellierung erforderlich. Ein erster Schwerpunkt zur Entwicklung eines CMP-Modells ist die Modellbildung für Einzelwerkstoffe. Überlegungen zur mechanischen Trennrate, der Anpassung der Stoffeigenschaften und des chemischen Abtrags führen zu einer Modellbildung des gesamten chemisch-mechanischen Trennmechanismus für einen Werkstoff. Die Verifizierung dieses Modells erfolgt durch experimentelle Untersuchungen. Die so gewonnenen Erkenntnisse fließen in eine Modellbildung für einen Werkstoffverbund ein. Dabei kommen als weitere Parameter die Kontaktverhältnisse hinzu. Diese hängen stark von der Größe der Schichtstrukturen ab, die in der aus dem Grundwerkstoff bestehenden Oberfläche eingebettet sind. Die Berücksichtigung der Schichtstrukturgröße erfolgt mittels eines FEM-Modells. Damit liegt ein Gesamtmodell vor, welches gestattet, die lokale Planarisierung zu beschreiben. Experimentelle ntersuchungen verifizieren dieses Gesamtmodell. Globale Planarisierung ist die Einhaltung von Dicken vom Grundmaterial und Schichtstrukturen auf Waferniveau. Grundlegende Untersuchungen zur globalen Planarisierung hierzu schließen die Arbeit ab.
Aktualisiert: 2019-10-17
> findR *
MEHR ANZEIGEN
Bücher zum Thema Chemisch-Mechanisches Polieren
Sie suchen ein Buch über Chemisch-Mechanisches Polieren? Bei Buch findr finden Sie eine große Auswahl Bücher zum
Thema Chemisch-Mechanisches Polieren. Entdecken Sie neue Bücher oder Klassiker für Sie selbst oder zum Verschenken. Buch findr
hat zahlreiche Bücher zum Thema Chemisch-Mechanisches Polieren im Sortiment. Nehmen Sie sich Zeit zum Stöbern und finden Sie das
passende Buch für Ihr Lesevergnügen. Stöbern Sie durch unser Angebot und finden Sie aus unserer großen Auswahl das
Buch, das Ihnen zusagt. Bei Buch findr finden Sie Romane, Ratgeber, wissenschaftliche und populärwissenschaftliche
Bücher uvm. Bestellen Sie Ihr Buch zum Thema Chemisch-Mechanisches Polieren einfach online und lassen Sie es sich bequem nach
Hause schicken. Wir wünschen Ihnen schöne und entspannte Lesemomente mit Ihrem Buch.
Chemisch-Mechanisches Polieren - Große Auswahl Bücher bei Buch findr
Bei uns finden Sie Bücher beliebter Autoren, Neuerscheinungen, Bestseller genauso wie alte Schätze. Bücher zum
Thema Chemisch-Mechanisches Polieren, die Ihre Fantasie anregen und Bücher, die Sie weiterbilden und Ihnen wissenschaftliche
Fakten vermitteln. Ganz nach Ihrem Geschmack ist das passende Buch für Sie dabei. Finden Sie eine große Auswahl
Bücher verschiedenster Genres, Verlage, Autoren bei Buchfindr:
Sie haben viele Möglichkeiten bei Buch findr die passenden Bücher für Ihr Lesevergnügen zu entdecken. Nutzen Sie
unsere Suchfunktionen, um zu stöbern und für Sie interessante Bücher in den unterschiedlichen Genres und Kategorien
zu finden. Unter Chemisch-Mechanisches Polieren und weitere Themen und Kategorien finden Sie schnell und einfach eine Auflistung
thematisch passender Bücher. Probieren Sie es aus, legen Sie jetzt los! Ihrem Lesevergnügen steht nichts im Wege.
Nutzen Sie die Vorteile Ihre Bücher online zu kaufen und bekommen Sie die bestellten Bücher schnell und bequem
zugestellt. Nehmen Sie sich die Zeit, online die Bücher Ihrer Wahl anzulesen, Buchempfehlungen und Rezensionen zu
studieren, Informationen zu Autoren zu lesen. Viel Spaß beim Lesen wünscht Ihnen das Team von Buchfindr.