Partikelgefüllte Epoxidharze finden weitverbreitet Einsatz für die Verkapselung mikroelektronischer Aufbauten. Im Rahmen der vorliegenden Arbeit wurde die Feuchtebarrierewirkung partikelgefüllter Epoxidharzen systematisch untersucht. Die Ergebnisse der Arbeit ermöglichen eine genauere Charakterisierung und Vorhersage der Barrierewirkung der Verkapselung realer mikroelektronischer Systeme und somit eine Zuverlässigkeitserhöhung der Aufbauten.
Aktualisiert: 2023-06-01
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Aktualisiert: 2023-03-31
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