Schlüsselwort: Modellierung und Simulation

Modellierung und Simulation des Chemisch-mechanischen Planarisierens unter besonderer Berücksichtigung langreichweitiger Wechselwirkungen auf der Chipskala.

Modellierung und Simulation des Chemisch-mechanischen Planarisierens unter besonderer Berücksichtigung langreichweitiger Wechselwirkungen auf der Chipskala. von Bott, Sascha
Beim CMP-Prozess in der Halbleiterfertigung ist das Erreichen globaler Planarität von herausragender Bedeutung. Die Planarisierungsleistung wird auch von den zu planarisierenden Strukturen selbst beeinflusst. Ihre Topographie innerhalb eines Chips führt zu langreichweitigen Wechselwirkungen. Die globale Planarität hängt somit vom Chiplayout ab. Zum besseren Verständnis dieser Abhängigkeiten gibt es CMP-Modelle auf der Chipskala, die bei der Prozessentwicklung und beim fertigungsgerechten Entwurf unterstützen. Der modellseitige Parameter der die Planarisierungsleistung kennzeichnet ist die Wechselwirkungslänge. Die neu entwickelten Modelle dieser Arbeit, das Global-Höhen- und das Rauheit-Höhen-Modell, zeigen ihre Verbesserungen in der besseren Beschreibung der langreichweitigen Wechselwirkungen. Sie berücksichtigen die nach der Abscheidung vorhandene und auch die sich durch den Prozessverlauf ändernde Topographie besser. Um Zusammenhänge zwischen globaler Planarität und Prozessbedingungen zu zeigen, wurden die Auswirkungen verschiedener CMP-Pads auf die Planarisierungsleistung untersucht. Als Ausblick wurde die Nutzbarmachung der Modelle für zum Druck nichtlineare Prozesse gezeigt.
Aktualisiert: 2023-06-01
Autor:
> findR *
> Buchhandlung findr > Verlag findr > Für Buchhändler

Kalorik in ferroelektrischen Werkstoffen – von der Variationsformulierung zur Modellierung und Simulation

Kalorik in ferroelektrischen Werkstoffen – von der Variationsformulierung zur Modellierung und Simulation von Wingen, Marius
Ziel dieser Arbeit ist die Entwicklung eines mikromechanisch und physikalisch motivierten nichtlinearen konstitutiven Modells und dessen Finite-Elemente Formulierung zur Beschreibung wechselseitig gekoppelter thermoelektro-mechanischer Prozesse in Ferroelektrika. U.a. sollen Betrachtungen auf atomarer Ebene eine mathematisch-physikalische Beschreibung wechselseitiger thermo-elektro-mechanischer Kopplungen auf Meso- bzw. Korn-Ebene ermöglichen. Die für die Finite-Elemente-Formulierung notwendige schwache Form und ihre Herleitung führen zudem zu Fragestellungen wie beispielsweise, ob und auf welche Weise die schwache Form eines um die Kalorik erweiterten elektromechanischen und, allgemeiner, eines elektrodynamischen Feldproblems über eine Variationsformulierung hergeleitet werden kann.
Aktualisiert: 2023-06-01
Autor:
> findR *
> Buchhandlung findr > Verlag findr > Für Buchhändler
MEHR ANZEIGEN

Bücher zum Thema Modellierung und Simulation

Sie suchen ein Buch über Modellierung und Simulation? Bei Buch findr finden Sie eine große Auswahl Bücher zum Thema Modellierung und Simulation. Entdecken Sie neue Bücher oder Klassiker für Sie selbst oder zum Verschenken. Buch findr hat zahlreiche Bücher zum Thema Modellierung und Simulation im Sortiment. Nehmen Sie sich Zeit zum Stöbern und finden Sie das passende Buch für Ihr Lesevergnügen. Stöbern Sie durch unser Angebot und finden Sie aus unserer großen Auswahl das Buch, das Ihnen zusagt. Bei Buch findr finden Sie Romane, Ratgeber, wissenschaftliche und populärwissenschaftliche Bücher uvm. Bestellen Sie Ihr Buch zum Thema Modellierung und Simulation einfach online und lassen Sie es sich bequem nach Hause schicken. Wir wünschen Ihnen schöne und entspannte Lesemomente mit Ihrem Buch.

Modellierung und Simulation - Große Auswahl Bücher bei Buch findr

Bei uns finden Sie Bücher beliebter Autoren, Neuerscheinungen, Bestseller genauso wie alte Schätze. Bücher zum Thema Modellierung und Simulation, die Ihre Fantasie anregen und Bücher, die Sie weiterbilden und Ihnen wissenschaftliche Fakten vermitteln. Ganz nach Ihrem Geschmack ist das passende Buch für Sie dabei. Finden Sie eine große Auswahl Bücher verschiedenster Genres, Verlage, Autoren bei Buchfindr:

Sie haben viele Möglichkeiten bei Buch findr die passenden Bücher für Ihr Lesevergnügen zu entdecken. Nutzen Sie unsere Suchfunktionen, um zu stöbern und für Sie interessante Bücher in den unterschiedlichen Genres und Kategorien zu finden. Unter Modellierung und Simulation und weitere Themen und Kategorien finden Sie schnell und einfach eine Auflistung thematisch passender Bücher. Probieren Sie es aus, legen Sie jetzt los! Ihrem Lesevergnügen steht nichts im Wege. Nutzen Sie die Vorteile Ihre Bücher online zu kaufen und bekommen Sie die bestellten Bücher schnell und bequem zugestellt. Nehmen Sie sich die Zeit, online die Bücher Ihrer Wahl anzulesen, Buchempfehlungen und Rezensionen zu studieren, Informationen zu Autoren zu lesen. Viel Spaß beim Lesen wünscht Ihnen das Team von Buchfindr.