Einflussfaktoren auf die Emissionseigenschaften einer EUV Strahlungsquelle im Langzeitbetrieb

Einflussfaktoren auf die Emissionseigenschaften einer EUV Strahlungsquelle im Langzeitbetrieb von Vieker,  Jochen
Für die Weiterentwicklung der EUV-Lithographie werden kompakte und langzeitstabile EUV-Strahlungsquellen für Forschungs- und Entwicklungsarbeiten benötigt. In dieser Arbeit wird eine EUV-Strahlungsquelle auf Basis einer Gasentladung – dem hohlkathodengetriggerten Pinchplasma – bezüglich der im Langzeitbetrieb relevanten Einflussfaktoren untersucht. Signifikante Verbesserungen der Leistungsfähigkeit werden demonstriert und ein technologischer Ausblick vorgestellt.
Aktualisiert: 2021-07-10
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Natürliche Strahlenquellen-Verordnung

Natürliche Strahlenquellen-Verordnung von Aichholzer,  Silvia, Brandl,  Alexander, Spiel,  Silke
Die Natürliche Strahlenquellen-Verordnung enthält die umfassende Neuregelung von Strahlenschutzbestimmungen zum Schutz vor natürlichen Strahlenquellen bei Arbeiten mit Strahlenquellen. Die Regelungen betreffen im Wesentlichen zwei Bereiche: zum einen erhöhte natürliche Expositionen für Arbeitnehmerinnen und Arbeitnehmer in bestimmten Arbeitsbereichen; zum anderen erhöhte natürliche Expositionen für Einzelpersonen der Bevölkerung auf Grund von Rückständen, die einen erhöhten Gehalt an Uran oder Thorium und deren Zerfallsprodukten aufweisen und in bestimmten, der Verordnung unterliegenden Arbeitsbereichen anfallen. Die Beschränkung beruflich bedingter Expositionen durch natürliche Strahlenquellen ist heute ebenso eine Aufgabe des Strahlenschutzes wie die Begrenzung von Expositionen durch künstliche Strahlenquellen. In Österreich betroffene Arbeitsbereiche sind – auf Grund der erhöhten Radonkonzentrationen – insbesondere Wassergewinnungs- und aufbereitungsanlagen. Der vorliegende Kommentar mit erläuternden Bemerkungen, verfasst von profunden Expertinnen und Experten der Materie, erleichtert die praktische Umsetzung der Natürlichen Strahlenquellen-Verordnung wesentlich.
Aktualisiert: 2022-02-15
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