Nicht-Gleichgewichtseffekte beim Laserdotieren von Silizium von Lill, Patrick

Nicht-Gleichgewichtseffekte beim Laserdotieren von Silizium

Diese Arbeit untersucht Nicht-Gleichgewichtseffekte, die Segregation von Dotierstoffen und die selbst-verstärkende Absorption von Laserstrahlung, die beim Laserdotieren beziehungsweise Laserschmelzen von Silizium-Wafern auftreten.

Segregation an der fortschreitenden (Re)-Kristallisationsfront nach Ende eines Laserpulses hat einen entscheidenden Einfluss auf die Konzentrationsprofile beim Laserdotieren.

Das hier entwickelte numerische Simulationsmodell bildet die experimentell gemessenen Bor- und Antimon-Konzentrationsprofile im Silizium für eine Vielzahl von experimentellen Bedingungen in guter Näherung nach.

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Die Publikation Nicht-Gleichgewichtseffekte beim Laserdotieren von Silizium von ist bei Dr. Hut erschienen. Die Publikation ist mit folgenden Schlagwörtern verschlagwortet: Laserdotieren, Segregation, Silizium. Weitere Bücher, Themenseiten, Autoren und Verlage finden Sie hier: https://buch-findr.de/sitemap_index.xml . Auf Buch FindR finden Sie eine umfassendsten Bücher und Publikationlisten im Internet. Sie können die Bücher und Publikationen direkt bestellen. Ferner bieten wir ein umfassendes Verzeichnis aller Verlagsanschriften inkl. Email und Telefonnummer und Adressen. Die Publikation kostet in Deutschland 39 EUR und in Österreich 40.1 EUR Für Informationen zum Angebot von Buch FindR nehmen Sie gerne mit uns Kontakt auf!