CVD-basiertes ZnO-Schichtwachstum und optische Spektroskopie an Fe3+-Defekten in ZnO
Raphael Müller
In dieser Arbeit wurde zum einen das Zinkoxid-Schichtwachstum mittels Methan-basierter chemischer Gasphasenabscheidung auf verschiedenen Substraten und zum anderen optische Übergänge in der 3d-Schale von Fe3+-Ionen im Zinkoxid-Kristallfeld detailliert untersucht.
Die Ergebnisse dieser Arbeit im Bereich der Heteroepitaxie von Zinkoxid-Schichten mittels Methan-basierter chemischer Gasphasenabscheidung übertreffen den Stand der Literatur in diesem Bereich deutlich und bieten eine Vielzahl neuer Erkenntnisse. Darüber hinaus trägt diese Arbeit zum Verständnis von optischen Übergängen in der 3d-Schale von Fe3+-Ionen in Zinkoxid bei und liefert mit der erstellten Modellrechnung eine vollständige quantenmechanische Beschreibung.