Herstellung und Untersuchung p-leitender transparenter CuAlO2- und CuCrO2-Schichten.
Christina Schulz
In dieser Arbeit wurden die zwei p-leitenden TCOs CuAlO2 und CuCrO2 auf Basis der Delafossitstruktur untersucht. Ihre Anwendungen liegen in der transparenten Elektronik, um vollständig oxidische Halbleiter-Bauelemente zu realisieren. Beide Materialien wurden im Sputterverfahren abgeschieden und anschließend getempert. Die prinzipielle Einsetzbarkeit in vollständig oxidischen Bauteilen ließ sich mit einer transparenten CuCrO2-ZnO:Al-Diode nachweisen.
