Mikrosystemtechnik von Hilleringmann, Ulrich

Mikrosystemtechnik

Prozessschritte, Technologien, Anwendungen

Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.

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Die Publikation Mikrosystemtechnik - Prozessschritte, Technologien, Anwendungen von ist bei Vieweg & Teubner erschienen. Die Publikation ist mit folgenden Schlagwörtern verschlagwortet: Berechnung, BranchenIndex Online, Elektronik, Fachinformatiker, Ingenieurstudium, Mikrosystem (MEMS), Mikrosystemtechnik, Privatdozent, Pruefungsvorbereitung, Sensor, Siemens, System, Systeme, Systemtechnik, VDE. Weitere Bücher, Themenseiten, Autoren und Verlage finden Sie hier: https://buch-findr.de/sitemap_index.xml . Auf Buch FindR finden Sie eine umfassendsten Bücher und Publikationlisten im Internet. Sie können die Bücher und Publikationen direkt bestellen. Ferner bieten wir ein umfassendes Verzeichnis aller Verlagsanschriften inkl. Email und Telefonnummer und Adressen. Die Publikation kostet in Deutschland 26.96 EUR und in Österreich 26.96 EUR Für Informationen zum Angebot von Buch FindR nehmen Sie gerne mit uns Kontakt auf!