Mikrosystemtechnik – Wachstum ins Kleine
Wolfram Dötzel
In den späten 70er Jahren des 20. Jahrhunderts begann man, Werkstoffe und Fertigungsverfahren der Mikroelektronik auf die Konstruktion miniaturisierter, beweglicher Strukturen für Sensoren, Aktoren und andere Mechanismen zu übertragen. Miniaturisierung und Integration führten zu einem neuartigen technischen Gebiet, das heute in Deutschland als Mikrosystemtechnik, in den USA als MicroElectroMechanicalSystems (MEMS) bezeichnet wird.
Der vorliegende Band bietet eine knappe und präzise Einführung in Mikrosysteme, Skalierung und eine Übersicht zu mikromechanischen Komponenten, die diese aus unserem Lebensumfeld nicht mehr wegzudenkende Technik beschreibt.
