Simulation und experimentelle Erprobung parametrisch-optischer Rauheitsmessprozesse auf der Basis von kohärentem Streulicht und Speckle-Korrelationsverfahren
Stefan Patzelt
Dipl.-Phys. Stefan Patzelt
Geboren 1966 in Oldenburg. Er studierte Physik an der
Universität Oldenburg und arbeitete anschließend an
der Fachhochschule Oldenburg als Lehrbeauftragter für
das Fach Physik im Fachbereich Seefahrt. Als wissenschaftlicher
Mitarbeiter im Fachbereich Produktionstechnik
an der Universität Bremen bearbeitete er neben
der Lehrtätigkeit im Fachgebiet Messtechnik mehrere
Forschungsprojekte zum Thema prozessnahe und
In-Prozess-Charakterisierung von Oberflächen mittels
Streulicht.
Streulichtbasierte Messsysteme charakterisieren Oberflächen
und lokalisieren Strukturdefekte. Sie sind kompakt,
robust und vergleichsweise kostengünstig. Aufgrund
kurzer Messdaten-Erfassungszeiten und hoher
Messdaten-Erfassungsraten besitzen sie ein großes
Potenzial für den fertigungsprozessnahen (in-situ) und
den In-Prozess-Einsatz. Verschiedene, auf Speckle-
Korrelationsverfahren beruhende Streulicht-Messverfahren
für Rauheiten und Oberflächendefekte im Nanometer-
und Mikrometerbereich werden erläutert,
modelliert und experimentell erprobt.
