Der Fokus dieser Arbeit liegt auf der Entwicklung einer quasi-monolithischen Nanopositioniervorrichtung für die Anwendung in Hochgeschwindigkeits-Rastersondenmikroskopie-Systemen. Das Konzept der in dieser Arbeit entwickelten neuen Nanopositioniervorrichtung stellt die quasi-monolithische Integration der kinematischen Konstruktion aus monokristallinem Silizium, der piezoelektrischen Aktoren und der piezoresistiven Sensoren dar. Eine monolithische Integration der Piezowiderstände in die Verformungselemente der kinematischen Konstruktion aus Silizium ermöglicht eine Kompensation von möglichen Nichtlinearitäten. Die entwickelte Positioniervorrichtung wurde als Prototyp implementiert und die Funktionsfähigkeit experimentell bestätigt. In einem Rasterkraftmikroskopiesystem wurden Kalibrierung und Probemessungen erfolgreich durchgeführt.
Aktualisiert: 2017-07-03
> findR *
MEHR ANZEIGEN
Bücher zum Thema Piezowiderstandseffekt
Sie suchen ein Buch über Piezowiderstandseffekt? Bei Buch findr finden Sie eine große Auswahl Bücher zum
Thema Piezowiderstandseffekt. Entdecken Sie neue Bücher oder Klassiker für Sie selbst oder zum Verschenken. Buch findr
hat zahlreiche Bücher zum Thema Piezowiderstandseffekt im Sortiment. Nehmen Sie sich Zeit zum Stöbern und finden Sie das
passende Buch für Ihr Lesevergnügen. Stöbern Sie durch unser Angebot und finden Sie aus unserer großen Auswahl das
Buch, das Ihnen zusagt. Bei Buch findr finden Sie Romane, Ratgeber, wissenschaftliche und populärwissenschaftliche
Bücher uvm. Bestellen Sie Ihr Buch zum Thema Piezowiderstandseffekt einfach online und lassen Sie es sich bequem nach
Hause schicken. Wir wünschen Ihnen schöne und entspannte Lesemomente mit Ihrem Buch.
Piezowiderstandseffekt - Große Auswahl Bücher bei Buch findr
Bei uns finden Sie Bücher beliebter Autoren, Neuerscheinungen, Bestseller genauso wie alte Schätze. Bücher zum
Thema Piezowiderstandseffekt, die Ihre Fantasie anregen und Bücher, die Sie weiterbilden und Ihnen wissenschaftliche
Fakten vermitteln. Ganz nach Ihrem Geschmack ist das passende Buch für Sie dabei. Finden Sie eine große Auswahl
Bücher verschiedenster Genres, Verlage, Autoren bei Buchfindr:
Sie haben viele Möglichkeiten bei Buch findr die passenden Bücher für Ihr Lesevergnügen zu entdecken. Nutzen Sie
unsere Suchfunktionen, um zu stöbern und für Sie interessante Bücher in den unterschiedlichen Genres und Kategorien
zu finden. Unter Piezowiderstandseffekt und weitere Themen und Kategorien finden Sie schnell und einfach eine Auflistung
thematisch passender Bücher. Probieren Sie es aus, legen Sie jetzt los! Ihrem Lesevergnügen steht nichts im Wege.
Nutzen Sie die Vorteile Ihre Bücher online zu kaufen und bekommen Sie die bestellten Bücher schnell und bequem
zugestellt. Nehmen Sie sich die Zeit, online die Bücher Ihrer Wahl anzulesen, Buchempfehlungen und Rezensionen zu
studieren, Informationen zu Autoren zu lesen. Viel Spaß beim Lesen wünscht Ihnen das Team von Buchfindr.
