Mikrowellenplasmaunterstützte Prozesse für Anwendungen in der Halbleitertechnologie.

Mikrowellenplasmaunterstützte Prozesse für Anwendungen in der Halbleitertechnologie. von Altmannshofer,  Stephan
In dieser Arbeit werden verschiedene Mikrowellenplasmaunterstützte Prozesse untersucht. Es werden Ätz- und Abscheideprozesse erforscht, die in der Halbleitertechnologie nötig sind. Dabei wird darauf geachtet, dass die Prozesstemperatur sehr gering ist. Durch die in der Arbeit untersuchten plasmaunterstützten Prozesse, kann eine epitaktische Siliziumschicht bereits bei 450 °C abgeschieden werden.
Aktualisiert: 2023-06-01
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Impaktinduzierte Effekte auf Solargeneratoren im geostationären Orbit.

Impaktinduzierte Effekte auf Solargeneratoren im geostationären Orbit. von Hiermaier,  Stefan, Schimmerohn,  Martin, Thoma,  Klaus
Es wird ein Modell zur Beschreibung der zeitlichen und räumlichen Entwicklung von Plasmawolken, die beim Hypervelocity Impakt von Mikrometeoroiden und Weltraummüll entstehen, vorgestellt. Der Einfluss des Impaktplasmas auf die Funktion von Solargeneratoren von Satelliten im geostationären Orbit wird durch Impakt-Experimente untersucht. Der grundlegende Prozess impaktinduzierter Entladungen und dessen Fehlerbedingungen werden evaluiert.
Aktualisiert: 2023-06-01
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Mikrowellenplasmaunterstützte Prozesse für Anwendungen in der Halbleitertechnologie.

Mikrowellenplasmaunterstützte Prozesse für Anwendungen in der Halbleitertechnologie. von Altmannshofer,  Stephan
In dieser Arbeit werden verschiedene Mikrowellenplasmaunterstützte Prozesse untersucht. Es werden Ätz- und Abscheideprozesse erforscht, die in der Halbleitertechnologie nötig sind. Dabei wird darauf geachtet, dass die Prozesstemperatur sehr gering ist. Durch die in der Arbeit untersuchten plasmaunterstützten Prozesse, kann eine epitaktische Siliziumschicht bereits bei 450 °C abgeschieden werden.
Aktualisiert: 2023-03-31
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Impaktinduzierte Effekte auf Solargeneratoren im geostationären Orbit.

Impaktinduzierte Effekte auf Solargeneratoren im geostationären Orbit. von Hiermaier,  Stefan, Schimmerohn,  Martin, Thoma,  Klaus
Es wird ein Modell zur Beschreibung der zeitlichen und räumlichen Entwicklung von Plasmawolken, die beim Hypervelocity Impakt von Mikrometeoroiden und Weltraummüll entstehen, vorgestellt. Der Einfluss des Impaktplasmas auf die Funktion von Solargeneratoren von Satelliten im geostationären Orbit wird durch Impakt-Experimente untersucht. Der grundlegende Prozess impaktinduzierter Entladungen und dessen Fehlerbedingungen werden evaluiert.
Aktualisiert: 2023-03-31
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