Diese Arbeit untersucht Nicht-Gleichgewichtseffekte, die Segregation von Dotierstoffen und die selbst-verstärkende Absorption von Laserstrahlung, die beim Laserdotieren beziehungsweise Laserschmelzen von Silizium-Wafern auftreten.
Segregation an der fortschreitenden (Re)-Kristallisationsfront nach Ende eines Laserpulses hat einen entscheidenden Einfluss auf die Konzentrationsprofile beim Laserdotieren.
Das hier entwickelte numerische Simulationsmodell bildet die experimentell gemessenen Bor- und Antimon-Konzentrationsprofile im Silizium für eine Vielzahl von experimentellen Bedingungen in guter Näherung nach.
Aktualisiert: 2020-12-26
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