Im Rahmen dieser Arbeit wird eine innovative Sensorfertigungstechnologie erforscht, die eine Abscheidung und Strukturierung individualisierter Sensorik direkt auf technischen Oberflächen von insbesondere Großbauteilen ermöglicht. Kernkomponente ist eine neuartige Beschichtungsanlage. Neben der Anlagencharakterisierung erfolgt die Erforschung geeigneter Isolations- und Funktionsschichten sowie von Strukturierungs- und Kontaktierungstechnologien. Die Evaluierung des technischen Potentials direktabgeschiedener Sensorik erfolgt am Beispiel von Dehnungsmessstreifen (DMS). Diese werden in Bezug auf Initialwiderstandswerte, Sensitivitäten und Temperaturkoeffizienten der elektrischen Widerstände untersucht und mit folienbasierten, kommerziellen DMS verglichen. Ferner erfolgen umfangreiche Untersuchungen zur Evaluierung und Verbesserung der Temperaturkompensationsfähigkeit, des Langzeitverhaltens sowie der Eignung für Hochtemperaturanwendungen. Die Arbeit schließt mit einer Potentialbewertung und einem ausführlichen Ausblick.
Aktualisiert: 2023-06-01
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Im Rahmen dieser Arbeit wird eine innovative Sensorfertigungstechnologie erforscht, die eine Abscheidung und Strukturierung individualisierter Sensorik direkt auf technischen Oberflächen von insbesondere Großbauteilen ermöglicht. Kernkomponente ist eine neuartige Beschichtungsanlage. Neben der Anlagencharakterisierung erfolgt die Erforschung geeigneter Isolations- und Funktionsschichten sowie von Strukturierungs- und Kontaktierungstechnologien. Die Evaluierung des technischen Potentials direktabgeschiedener Sensorik erfolgt am Beispiel von Dehnungsmessstreifen (DMS). Diese werden in Bezug auf Initialwiderstandswerte, Sensitivitäten und Temperaturkoeffizienten der elektrischen Widerstände untersucht und mit folienbasierten, kommerziellen DMS verglichen. Ferner erfolgen umfangreiche Untersuchungen zur Evaluierung und Verbesserung der Temperaturkompensationsfähigkeit, des Langzeitverhaltens sowie der Eignung für Hochtemperaturanwendungen. Die Arbeit schließt mit einer Potentialbewertung und einem ausführlichen Ausblick.
Aktualisiert: 2022-02-10
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Die Fortschritte in der Entwicklung von medialen Endgeräten sind ein nicht zu übersehender Motor für die Entwicklung neuer Technologien und Methoden zur Herstellung von Aktoren und Sensoren. Hierzu zählen nicht nur unter anderem die Sensorik zur Festlegung der Position und Lage des Endgerätes, sondern auch akustische Wandler, welche sowohl digitale Signale in Schallwellen aber auch demgegenüber Schallwellen in ein elektrisches Signal umwandeln. Im Bereich der letztgenannten Wandlungsart gibt es bereits durchaus etablierte Produkte, die auf Grundlage des elektrostatischen Prinzips agieren. Hier sind vor allem die Systeme mit Elektret zu nennen, aber auch Systeme in Form eines kapazitiven Wandlers sind hier vertreten.
Diese besitzen in den häufigsten Fällen eine schwingende Membran aus einer Siliziumverbindung. Eine Alternative hierzu kann eine Membran aus einem Polymer sein, welche andere Eigenschaften mitbringt und in der Verarbeitung weitere Bereiche öffnet, wie beispielsweise die Verwendung auf einer technischen Oberfläche.
Aktualisiert: 2021-12-03
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Die Fortschritte in der Entwicklung von medialen Endgeräten sind ein nicht zu übersehender Motor für die Entwicklung neuer Technologien und Methoden zur Herstellung von Aktoren und Sensoren. Hierzu zählen nicht nur unter anderem die Sensorik zur Festlegung der Position und Lage des Endgerätes, sondern auch akustische Wandler, welche sowohl digitale Signale in Schallwellen aber auch demgegenüber Schallwellen in ein elektrisches Signal umwandeln. Im Bereich der letztgenannten Wandlungsart gibt es bereits durchaus etablierte Produkte, die auf Grundlage des elektrostatischen Prinzips agieren. Hier sind vor allem die Systeme mit Elektret zu nennen, aber auch Systeme in Form eines kapazitiven Wandlers sind hier vertreten.
Diese besitzen in den häufigsten Fällen eine schwingende Membran aus einer Siliziumverbindung. Eine Alternative hierzu kann eine Membran aus einem Polymer sein, welche andere Eigenschaften mitbringt und in der Verarbeitung weitere Bereiche öffnet, wie beispielsweise die Verwendung auf einer technischen Oberfläche.
Aktualisiert: 2022-10-13
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Mit mechanischen Verfahren der Oberflächenbearbeitung können Topografien im Submikrometerbereich realisiert werden. Die Mikrofräsbearbeitung gewährleistet die hier erforderliche Präzision, wobei mit Werkzeugdurchmessern von D < 1 mm der empirische Ansatz zur Bestimmung der Prozessparameter angewendet wird. Im Rahmen dieser Arbeit konnten durch die experimentellen Untersuchungen Strategien zur Prozessführung der SiC-Mikrofräswerkzeuge erarbeitet werden. Im Fokus haben die Untersuchung der Wechselwirkungen der Werkzeuggeometrie mit dem Werkzeugverschleiß und die Prozessparameter gestanden. Zur Erfassung der Schneidkantenverrundung wurden Messungen durchgeführt, um mit den Ergebnissen die Optimierung der Einstellgrößen durchzuführen und Aussagen über weitere Parameter zu erzielen. Das Abtragsverhalten für das SiC-Mikrofräswerkzeug wurde beschrieben und durch modellspezifische Regressionsgleichungen auf Basis der statistischen Versuchsplanung aufgestellt.
Aktualisiert: 2021-09-30
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Mit mechanischen Verfahren der Oberflächenbearbeitung können Topografien im Submikrometerbereich realisiert werden. Die Mikrofräsbearbeitung gewährleistet die hier erforderliche Präzision, wobei mit Werkzeugdurchmessern von D < 1 mm der empirische Ansatz zur Bestimmung der Prozessparameter angewendet wird. Im Rahmen dieser Arbeit konnten durch die experimentellen Untersuchungen Strategien zur Prozessführung der SiC-Mikrofräswerkzeuge erarbeitet werden. Im Fokus haben die Untersuchung der Wechselwirkungen der Werkzeuggeometrie mit dem Werkzeugverschleiß und die Prozessparameter gestanden. Zur Erfassung der Schneidkantenverrundung wurden Messungen durchgeführt, um mit den Ergebnissen die Optimierung der Einstellgrößen durchzuführen und Aussagen über weitere Parameter zu erzielen. Das Abtragsverhalten für das SiC-Mikrofräswerkzeug wurde beschrieben und durch modellspezifische Regressionsgleichungen auf Basis der statistischen Versuchsplanung aufgestellt.
Aktualisiert: 2021-07-21
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In der vorliegenden Arbeit wird die Prozessentwicklung zur Fertigung von substratlosen Mikro-Transformatoren vorgestellt. Die Neuerung besteht darin Polyimid als Träger zu verwenden und somit den Bauraum der Mikro-Transformatoren zu reduzieren. Für die Fertigung wird ein flüssiger Polyimidpräkursor auf einen temporären Träger aufgebracht. Die weichmagnetischen Ringkerne werden elektrolytisch aus einer Nickel-Eisen-Legierungen hergestellt. Die Thermobehandlung der Legierung führt zu einer Reduktion der Koerzitivfeldstärke und eine Erhöhung der magnetischen Sättigungsfeldstärke. Die Ablösung des Mikrosystems wird mithilfe der anodischen Auflösung von Aluminium durchgeführt. Die Ablösung erfolgt in 0,5 molarer Natriumchloridlösung. Die gefertigten Mikrosysteme werden anhand der Impedanz und des frequenzabhängigen Induktivitätsverlaufs beurteilt.
Aktualisiert: 2021-02-04
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In der vorliegenden Arbeit wird die Prozessentwicklung zur Fertigung von substratlosen Mikro-Transformatoren vorgestellt. Die Neuerung besteht darin Polyimid als Träger zu verwenden und somit den Bauraum der Mikro-Transformatoren zu reduzieren. Für die Fertigung wird ein flüssiger Polyimidpräkursor auf einen temporären Träger aufgebracht. Die weichmagnetischen Ringkerne werden elektrolytisch aus einer Nickel-Eisen-Legierungen hergestellt. Die Thermobehandlung der Legierung führt zu einer Reduktion der Koerzitivfeldstärke und eine Erhöhung der magnetischen Sättigungsfeldstärke. Die Ablösung des Mikrosystems wird mithilfe der anodischen Auflösung von Aluminium durchgeführt. Die Ablösung erfolgt in 0,5 molarer Natriumchloridlösung. Die gefertigten Mikrosysteme werden anhand der Impedanz und des frequenzabhängigen Induktivitätsverlaufs beurteilt.
Aktualisiert: 2020-11-25
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In dieser Dissertation wird ein neuartiger Fertigungsansatz für die Realisierung anisotroper magnetoresistiver (AMR) Sensoren vorgestellt. Diese werden mit einem galvanischen Prozess in einem mikrofluidischen Kanal abgeschieden. Hierdurch wird der Einsatz von fotolithografischen Prozessschritten vermieden und die eingesetzten Elektrolytvolumina gering gehalten. Die Sensoren können lokal auf Bauteiloberflächen, auch in Aussparungen abgeschieden werden.
Der magnetoresistive Koeffizient der abgeschiedenen Sensorschichten variiert prozessbedingt zwischen 1,4 % und 1,9 %. Durch kerrmikroskopischen Untersuchungen der abgeschiedenen Sensorschichten wird die jeweilige Sensorcharakteristik, auf verschiedenen Subtraten und bei variierenden Prozessbedingungen, mit der jeweiligen Domänenstruktur in den sensitiven Schichten korreliert.
Aktualisiert: 2020-11-04
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In dieser Dissertation wird ein neuartiger Fertigungsansatz für die Realisierung anisotroper magnetoresistiver (AMR) Sensoren vorgestellt. Diese werden mit einem galvanischen Prozess in einem mikrofluidischen Kanal abgeschieden. Hierdurch wird der Einsatz von fotolithografischen Prozessschritten vermieden und die eingesetzten Elektrolytvolumina gering gehalten. Die Sensoren können lokal auf Bauteiloberflächen, auch in Aussparungen abgeschieden werden.
Der magnetoresistive Koeffizient der abgeschiedenen Sensorschichten variiert prozessbedingt zwischen 1,4 % und 1,9 %. Durch kerrmikroskopischen Untersuchungen der abgeschiedenen Sensorschichten wird die jeweilige Sensorcharakteristik, auf verschiedenen Subtraten und bei variierenden Prozessbedingungen, mit der jeweiligen Domänenstruktur in den sensitiven Schichten korreliert.
Aktualisiert: 2020-11-04
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Diese Arbeit behandelt die Herstellung und Charakterisierung eines magnetischen Dünnfilm-Sensorsystems auf Basis des gigantischen magnetoresistiven Effekts (engl.: giant magnetoresistance effect, Abk.: GMR) auf einem flexiblen Polymersubstrat. Im Zentrum der Untersuchungen steht das von der Wahl des Substrats beeinflusste Schichtwachstum der mittels Kathodenzerstäubung abgeschiedenen Metallschichten und deren, mit der Schichtmorphologie zusammenhängenden magnetischen und magnetoresistiven Eigenschaften. Die Ausprägung des GMR-Effekts ist stark abhängig von Grenzflächen-und magnetischen Kopplungsmechanismen, die durch die Schichtmorphologie beeinflusst werden.
Die Schichtmorphologie wiederum wird stark durch die Keimbildung und das Schichtwachstum bestimmt, welches von den Abscheidebedingungen wie Leistung, Gasdruck und Substrattemperatur und der Beschaffenheit des Substrats bezüglich Rauheit, freier Oberflächenspannung und thermischer Ausdehnung abhängig ist. Der Fokus der vorliegenden Arbeit ruht daher auf der Untersuchung dieser Zusammenhänge und ihres Einflusses auf die magnetoresistiven Eigenschaften der GMRSchichtsysteme.
Aktualisiert: 2020-01-17
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Diese Arbeit behandelt die Herstellung und Charakterisierung eines magnetischen Dünnfilm-Sensorsystems auf Basis des gigantischen magnetoresistiven Effekts (engl.: giant magnetoresistance effect, Abk.: GMR) auf einem flexiblen Polymersubstrat. Im Zentrum der Untersuchungen steht das von der Wahl des Substrats beeinflusste Schichtwachstum der mittels Kathodenzerstäubung abgeschiedenen Metallschichten und deren, mit der Schichtmorphologie zusammenhängenden magnetischen und magnetoresistiven Eigenschaften. Die Ausprägung des GMR-Effekts ist stark abhängig von Grenzflächen-und magnetischen Kopplungsmechanismen, die durch die Schichtmorphologie beeinflusst werden.
Die Schichtmorphologie wiederum wird stark durch die Keimbildung und das Schichtwachstum bestimmt, welches von den Abscheidebedingungen wie Leistung, Gasdruck und Substrattemperatur und der Beschaffenheit des Substrats bezüglich Rauheit, freier Oberflächenspannung und thermischer Ausdehnung abhängig ist. Der Fokus der vorliegenden Arbeit ruht daher auf der Untersuchung dieser Zusammenhänge und ihres Einflusses auf die magnetoresistiven Eigenschaften der GMRSchichtsysteme.
Aktualisiert: 2020-01-17
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Die Mechatronik ist die Wissenschaft der intelligenten Verknüpfung von Lösungselementen der Fachgebiete Maschinenbau, Elektrotechnik/Elektronik und Informatik. Das Ziel der Mechatronik ist die vorgegebene Funktionalität eines Systems synergetisch unter Berücksichtigung von einschränkenden Randbedingungen möglichst optimal zu erreichen. Die Beispiele mechatronischer Systeme sind zahlreich: Fahrerassistenzsysteme im Kraftfahrzeug, Einrichtungen des aktiven Schwingungsschutzes, sensorgeführte Roboter, moderne Werkzeugmaschinen, mikromechanische Geräte der Medizintechnik und viele mehr.
Dieses Lehrbuch und Nachschlagewerk beschreibt die Methoden zur Analyse mechatronischer Systeme und der verschiedenen Komponenten zu ihrer Synthese. Die Darstellung enthält Beiträge zur Sensorik und Aktorik, zur Signal- und Prozessdatenverarbeitung sowie zur Modellierung und Regelung mechatronischer Systeme.
Das Buch richtet sich an Studierende des Maschinenbaus, der Elektrotechnik bzw. Elektronik, der Informatik und der Mechatronik an Technischen Universitäten und Hochschulen. Darüber hinaus dient es als Nachschlagewerk für den Ingenieur in der Praxis.
Die 4. Auflage wurde weitreichend überarbeitet und um Beiträge zur Robotik, zu Automotive-Anwendungen, zur Mikrosensorik, zur videobasierten Regelung sowie zur Analyse und Synthese mechatronischer Systeme einschließlich der Behandlung von Implementierungsaspekten erweitert.
Aktualisiert: 2023-04-13
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In dieser Dissertation wird ein neuentwickelter Fertigungsansatz für die Realisierung anisotroper magnetoresistiver (AMR) Sensoren vorgestellt. Die AMR-Sensoren werden auf einem metallischen Substrat, das nach der dünnfilmtechnischen Fertigung umgeformt wird, realisiert. Durch diese Vorgehensweise soll eine erhöhte Integrationsfähigkeit von Sensoren in technischen Systemen erreicht werden. Der Funktionsnachweis der Sensoren wird beispielhaft anhand eines Messaufbaus zur Positionsmessung eines Magneten im dreidimensionalen Raum erbracht.
Aktualisiert: 2020-02-21
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Das in dieser Arbeit verwendete Material ist ein silikatisches, keramisches Mineral mit dem Namen Pyrophyllit. Das Besondere an diesem Material ist, dass es nicht, wie üblich, nach dem Sintern schwindet, es nimmt vielmehr um bis zu 2 % an Volumen zu. Dadurch soll eine teure Nachbearbeitung der Keramiken vermieden werden, da diese Hauptkostentreiber für die Verarbeitung dieser Materialgruppe ist.
Zielsetzung in dieser Arbeit ist es, einen mikrotechnischen Bearbeitungsprozess am Beispiel des Trennschleifens für ungebrannte Keramik zu untersuchen und weiter zu entwickeln. Eine endkonturnahe mechanische Bearbeitung durch Trennschleifen soll ohne Sonderfertigungsverfahren oder Abstriche in den Materialeigenschaften nach dem Sintern erreicht werden.
Aktualisiert: 2019-11-07
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Die Mechatronik ist die Wissenschaft der intelligenten Verknüpfung von Lösungselementen der Fachgebiete Maschinenbau, Elektrotechnik/Elektronik und Informatik. Das Ziel der Mechatronik ist die vorgegebene Funktionalität eines Systems synergetisch unter Berücksichtigung von einschränkenden Randbedingungen möglichst optimal zu erreichen. Die Beispiele mechatronischer Systeme sind zahlreich: Fahrerassistenzsysteme im Kraftfahrzeug, Einrichtungen des aktiven Schwingungsschutzes, sensorgeführte Roboter, moderne Werkzeugmaschinen, mikromechanische Geräte der Medizintechnik und viele mehr.
Dieses Lehrbuch und Nachschlagewerk beschreibt die Methoden zur Analyse mechatronischer Systeme und der verschiedenen Komponenten zu ihrer Synthese. Die Darstellung enthält Beiträge zur Sensorik und Aktorik, zur Signal- und Prozessdatenverarbeitung sowie zur Modellierung und Regelung mechatronischer Systeme.
Das Buch richtet sich an Studierende des Maschinenbaus, der Elektrotechnik bzw. Elektronik, der Informatik und der Mechatronik an Technischen Universitäten und Hochschulen. Darüber hinaus dient es als Nachschlagewerk für den Ingenieur in der Praxis.
Die 4. Auflage wurde weitreichend überarbeitet und um Beiträge zur Robotik, zu Automotive-Anwendungen, zur Mikrosensorik, zur videobasierten Regelung sowie zur Analyse und Synthese mechatronischer Systeme einschließlich der Behandlung von Implementierungsaspekten erweitert.
Aktualisiert: 2022-10-11
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Bauteile, die eine inhärente Verbindung mit der dazugehörigen Information aufweisen, werden im Sonderforschungsbereich 653 als „gentelligent“ (GI) bezeichnet. Die GI-Technologie ermöglicht die Kennzeichnung und Identifikation von Bauteilen in einer industriellen Fertigungsumgebung ohne Barcodes oder RFID-Chips.
Die vorliegende Arbeit stellt den Entwurf, die Entwicklung sowie die dünnfilmtechnische Fertigung und Charakterisierung eines neuartigen, magnetischen Schreibkopfes dar. Mit diesem Schreibkopf werden die Informationen direkt auf der GI-Bauteiloberfläche gespeichert. Um eine optimale Anpassung des Schreibkopfes während der Datenspeicherung an eine unebene GI-Oberfläche zu ermöglichen, kommen anstatt eines starren Substrates flexible Materialien zum Einsatz. Außerdem entsteht im Rahmen dieser Arbeit ein neues, effizientes und modulares Konzept zur schnellen und kostengünstigen Fertigung von Mikrosystemen. Hierzu werden gezielt die Methoden, wie substratlose und doppelseitige Fertigung, Montage durch Verkleben und hochpräzises Bohren eingesetzt und kombiniert.
Aktualisiert: 2019-11-07
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Im aktuellen pzh2013 geht es im Magazinschwerpunkt um Ressourcen. Natürlich aus Sicht des PZH, aber durchaus nicht nur in technischer Hinsicht.
Die blaue Produktion. Alles wird sich ändern. Wir leben im Umbruch. Vier Thesen über uns, unsere Welt und die Produktion von morgen.
Das Thema ist heiß. Der Wille zur Energieeffizienz ist in der Produktion angekommen. Am PZH werden Maschinen und Verfahren dafür entwickelt.
Die Alten. Die neue Ressource. Belegschaften werden in den kommenden Jahren rasant altern. Und dann? Arbeitswissenschaftler wissen, was zu tun ist.
Lerne! immer - weitere - besser Die Weiterbildung ihrer Mitarbeiter wird für Unternehmen zur Überlebensfrage. Am PZH entstehen neue Angebote.
Mathe? Ja! Mathematik ist fast überall drin, auch wenn man sie im Alltag kaum noch sieht. Und sie ist eine Art Human-Resources-Nadelöhr.
Gute Reise, Ressource! Sie werden an entlegenen Orten der Welt gefördert und viele Kilometer mit Gurten transportiert; so effizient wie möglich.
Jahresbereicht 2012
Aktualisiert: 2019-10-17
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Diese Dissertation beschreibt den Systementwurf, die dünnfilmtechnische Fertigung und die messtechnische Charakterisierung von Mikrosensoren auf flexiblen Trägersubstraten. Eine wesentliche Eigenschaft dieser Mikrosensoren stellt die Verwendung einer Polymerfolie mit flexiblen Eigenschaften als Systemträger dar. Da bei bisherigen Mikrosystemen das Substrat den größten Teil des Bauteilvolumens darstellt, eröffnet diese Entwicklung neuartige Möglichkeiten bei der Systemintegration der Mikrosensoren. Auf Grund der geringen Schichtdicken und der flexiblen Eigenschaften des polymerbasierten Systemträgers können diese Mikrosensoren auch auf nicht planaren Oberflächen zur Messung von Belastungsgrößen eingesetzt werden. Die Technologieentwicklung zur Herstellung von Mikrosensoren auf flexiblen Träger-substraten wird am Beispiel eines modularen Mikrowirbelstromsensors durchgeführt.
Aktualisiert: 2019-10-17
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Im pzh2014 geht es im Magazinschwerpunkt um den Einstieg ins Berufsleben, individuell erzählt, aber mit dem Ziel, ganz allgemein die Anforderungen zu skizzieren, die heute auf promovierte Einsteiger aus dem Maschinenbau warten. Der komplette Schwerpunkt "Mein erster Tag".
Der gute Ton. Andreas Fischer ging vom PZH zu Sennheiser, um dort den Aufbau eines neuen Werkes zu unterstützten. Heute leitet er es.
Von allem etwas - plus Weltpremiere. Resorbierbare Magnesiumimplantate sind das Thema von Arne Lucas. Das war am PZH so, das ist jetzt bei Syntellix so. Trotzdem gibt es im neuen Job vor allem eines: jeden Tag etwas Neues.
Die Starter von morgen. Eine - nicht repräsentative - Umfrage unter den künftigen PZH-Absolventen zeigt eins deutlich: Hier gibt es keine Bayern-Fans.
Jetzt mit Montagetechnik! Annika Raatz baut als neu berufene Professorin seit Ende 2013 das Institut für Montagetechnik auf. Ihr Start markiert auch einen Neubeginn am PZH.
Guter Rat. Wie finden Unternehmen guten technischen Nachwuchs? Und wie findet der technische Nachwuchs einen guten Job?
Einsteiger, die die Welt nicht braucht. Sinngetriebene Freigeister werden auf den alten Kähnen leider nicht gebraucht - sagt Lars Vollmer. Er fordert die Abkehr vom Taylorismus und ein neues Management.
Mein erster Tag am PZH. Nicht nur Wissenschaftliche Mitarbeiter arbeiten am PZH. Einige starten noch jünger. Vier Einstiege.
Jahresbericht 2013
Panorama 2013/2014
Aktualisiert: 2019-10-17
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